Sensofar S neox精密部件 3D 轮廓测量工具
在精密制造、半导体封装、光学元件加工等领域，对部件表面 3D 轮廓的精准测量是把控产物质量的关键环节，Sensofar 新型共聚焦白光干涉轮廓仪 S neox 凭借光学设计与稳定的测量性能，成为众多行业的实用选择，为微观尺度的轮廓分析提供有力支持。
一、产物细节：紧凑设计适配多样场景
S neox 采用台式一体化设计，整体尺寸约为 600mm×500mm×750mm，重量控制在 70kg 以内，无需占用过大实验室或车间空间，普通操作台即可平稳放置。机身外壳选用高强度铝合金材质，表面经过阳极氧化处理，不仅具备良好的抗腐蚀能力，能抵御车间或实验室环境中的轻微酸碱侵蚀，还能减少外界光线反射对光学系统的干扰，保障测量稳定性。
设备核心光学系统采用密封式设计，镜头组与干涉模块集成在防尘防雾的光学舱内，避免灰尘、水汽进入影响成像质量。镜头接口采用标准化设计，兼容 2.5x、5x、10x、20x、50x、100x 六种常用物镜，操作人员可根据测量需求快速更换物镜，无需复杂的校准流程。样品台采用电动控制方式，支持 X 轴 100mm、Y 轴 100mm、Z 轴 50mm 的移动范围，搭配高精度光栅尺，移动精度可达 0.1μm，能精准定位不同尺寸的样品，从直径 5mm 的微型光学镜片到边长 80mm 的半导体晶圆，均能稳定承载并完成全范围测量。
操作界面配备 15.6 英寸触控显示屏，界面设计简洁明了，常用功能如 “测量启动"“参数设置"“数据导出" 等以图标形式呈现，操作人员经过简单培训即可上手。设备还支持电脑远程控制，通过专用软件可在电脑上完成参数设置、测量操作与数据处理，方便多人协作分析测量结果。
二、产物性能：多技术融合提升测量能力
S neox 融合了共聚焦显微镜与白光干涉技术的优势，既能通过共聚焦技术实现高横向分辨率的 2D 成像，又能借助白光干涉技术获取高精度的 3D 轮廓数据。其共聚焦模块采用高亮度 LED 白光光源，光谱范围覆盖 450nm～650nm，搭配高灵敏度 CMOS 图像传感器，横向分辨率可达 0.12μm，能清晰捕捉样品表面的细微纹理，如金属部件的划痕、光学元件的表面缺陷等。
白光干涉模块则通过分析不同波长光线的干涉条纹，计算样品表面各点的高度信息，纵向测量分辨率可达 0.1nm，测量范围覆盖 1苍尘～10尘尘，能满足从纳米级台阶到毫米级高度差的测量需求。例如在半导体封装检测中，可精准测量芯片键合引线的高度与间距；在光学镜片加工中，能检测镜片表面的曲率半径与面型误差。
设备还具备自动对焦与自动拼接功能，自动对焦功能可快速找到样品的优良成像平面，减少人工调节时间；自动拼接功能则能将多个局部测量区域的 3D 数据拼接成完整的样品轮廓图像，适用于大尺寸样品的全表面测量，如 6 英寸晶圆的表面轮廓分析。
叁、用材与参数：核心部件保障测量精度
S neox 的关键部件选用高品质材料，光学镜头采用低色散光学玻璃，经过多层增透膜处理，能有效减少光线反射损失，提升光透过率，确保成像清晰。镜头镜筒采用不锈钢材质，具备良好的刚性与稳定性，长期使用后不易因温度变化出现形变，保障光学系统的同轴度。
样品台的导轨采用精密滚珠结构，表面覆盖耐磨涂层，摩擦系数小，移动顺滑无卡顿，且长期使用后仍能保持良好的运动精度。测量软件内置多种国际标准的测量算法，如 ISO 4287 表面粗糙度测量算法、ISO 12781-2 台阶高度测量算法等，能确保测量结果的准确性与通用性。
以下为 S neox 的核心参数表：
四、用途与使用说明：覆盖多领域测量需求
S neox 的用途广泛，在精密制造领域，可用于汽车零部件的表面粗糙度测量、模具型腔的 3D 轮廓检测，判断零部件加工精度是否符合设计要求；在半导体行业，能检测晶圆表面的平整度、芯片封装的键合质量，保障半导体产物的性能稳定；在光学行业，可测量光学镜片的面型误差、棱镜的角度偏差，确保光学元件的光学性能；在高校科研领域，适合用于纳米材料的形貌分析、生物样品的 3D 结构观察，为科研实验提供精准数据支持。
使用 S neox 时，需遵循以下步骤：首先将样品固定在样品台上，根据样品尺寸调整样品夹位置，确保样品稳定无晃动；然后打开设备电源与专用测量软件，软件会自动检测设备状态，若一切正常，进入参数设置界面，选择合适的物镜倍率、测量模式（共聚焦 / 白光干涉）与测量区域大小；接着点击 “自动对焦" 按钮，设备会自动调整镜头高度，找到样品的优良成像平面；随后启动测量，设备会自动采集样品的 2D 图像与 3D 轮廓数据，测量过程中可通过显示屏实时查看测量进度；测量完成后，软件会自动生成 3D 轮廓图像与测量报告，报告中包含表面粗糙度（Ra、Rz）、台阶高度、曲率半径等参数，可直接导出为所需格式，方便后续分析与存档。
使用过程中需注意，测量前需清洁样品表面，去除灰尘、油污等杂质，避免影响测量结果；更换物镜后需进行简单的校准，确保测量精度；设备长期不使用时，需定期启动运行，保持光学系统的稳定性。
五、型号特点：适配中测量需求
作为 Sensofar 的核心型号，S neox 在保证测量精度的同时，兼顾了操作便捷性与经济性，适合对测量精度要求较高的制造公司、科研机构与高校实验室。其融合共聚焦与白光干涉技术的设计，能满足不同样品的测量需求，减少设备采购成本；自动对焦、自动拼接等智能化功能，大幅提升了测量效率，适合批量样品的检测；丰富的数据输出格式，便于与其他分析软件兼容，为后续数据处理提供便利。
无论是工业生产中的质量控制，还是科研领域的微观分析，S neox 都能以稳定的性能、精准的测量与便捷的操作，为用户提供有力支持，助力提升产物质量与科研水平。
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