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白光干涉仪S neox的大视野测量能力

产物介绍

白光干涉仪S neox的大视野测量能力:无缝衔接宏观与微观的精密测量。通过自动拼接实现大视野全景扫描,一键切换高倍物镜即可对局部缺陷进行纳米级精细测量,全面提升质检效率与数据分析深度。

产物型号:
更新时间:2025-11-11
厂商性质:代理商
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白光干涉仪S neox的大视野测量能力

在质量控制和失效分析中,往往需要在宏观和微观尺度上同时对样品进行考察。例如,需要评估一个大型光学元件的面形精度,同时又要检测其局部区域的微小划痕或瑕疵。这就要求测量设备既具备“俯瞰全局"的大视野扫描能力,又拥有“明察秋毫"的高倍放大细节测量功能。Sensofar S neox 3D光学轮廓仪通过其精密的机械平台、光学系统和智能软件,实现了从宏观到微观的无缝衔接测量。

大视野测量的首要挑战是如何突破单次视场的限制。S neox通过“图像拼接"技术来解决这一问题。仪器驱动电动样品台或扫描镜,按照预设的网格路径移动,系统自动采集相邻的一系列图像和三维数据。随后,利用软件的高精度拼接算法,将这些有重叠区域的数据块无缝拼接成一幅完整的、高分辨率的大面积三维形貌图。这个过程可以是全自动的,用户只需定义拼接的行数和列数,或者直接设定需要覆盖的矩形区域即可。

这种大面积的叁维数据对于分析样品的整体平整度、翘曲、应变分布等参数非常有价值。例如,在平板显示行业,可以测量玻璃基板的大面积形貌;在新能源领域,可以评估电池极片的涂布均匀性。获取全局信息有助于从整体上把握产物的质量状况。
然而,仅有宏观视野是不够的。当在大视野图中发现感兴趣的区域,如一个疑似缺陷的点时,用户需要能快速地放大并进行高倍率的精细测量。S neox的多物镜集成转盘设计于此发挥了关键作用。用户可以在软件中直接在大视野拼接图上点击感兴趣的位置,软件会自动控制平台将该点移动至视野中心,然后自动切换到更高倍率的物镜(如20倍、50倍甚至150倍),对该区域进行微米或纳米尺度的精细测量。这种从低倍到高倍的自动联动,实现了“导航-定位-精细测量"的一体化流程,无需重新装夹样品,保证了宏观坐标与微观数据的位置关联准确性。
此外,对于需要统计性分析的场景,如表面某种缺陷的分布密度,大视野测量提供了统计的基础。软件可以在拼接后的三维图上,设定 criteria,自动识别和定位所有符合特征的区域,并记录其位置、尺寸、深度等信息,为统计分析提供丰富的数据样本。
Sensofar S neox的大视野测量能力,打破了宏观与微观观察之间的壁垒。它将白光干涉仪的高分辨率优势从单个视场扩展到了整个样品表面,为用户提供了更全面、更立体的样品信息。这种从整体到局部的工作流程,更符合现代研究和质检的实际需求,提升了设备的数据产出效率和洞察力。

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