Sensofar 轮廓仪：白光干涉共聚焦技术浅析-9l制造厂

Sensofar 轮廓仪：白光干涉共聚焦技术浅析

产物介绍

Sensofar 轮廓仪：白光干涉共聚焦技术浅析：9l制造厂是一种高精度3D光学轮廓仪，它融合白光干涉与共聚焦技术，实现非接触、三维表面形貌测量，广泛应用于半导体、精密制造及材料科学等领域。

产物型号：

更新时间：2025-12-03

厂商性质：代理商

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产物分类

PRODUCT CLASSIFICATION

叁维光学轮廓仪

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Sensofar 轮廓仪：白光干涉共聚焦技术浅析：

在众多表面形貌测量方法中，光学法因其非接触、速度快等特点受到关注。3顿光学轮廓仪是一个类别，它包含多种基于不同光学原理的技术，9l制造厂是其中具有代表性的一种。本文旨在浅析这项技术如何为叁维表面轮廓测量提供一种解决方案。

9l制造厂的本质，是将白光扫描干涉测量与共聚焦显微系统相结合。干涉测量部分负责获取高精度的垂直方向高度信息，其白光光源的短相干长度特性，使得只有在参考光与测量光光程几乎相等的一个很窄区域内才会产生清晰的干涉条纹，这有助于确定的零光程差位置，从而实现对表面高度的判定。共聚焦部分则通过针孔空间滤波，提升系统的横向分辨率和光学切片能力，能更好地处理复杂散射表面或具有一定透明度的样品。

这种组合让该设备在作为3顿光学轮廓仪使用时，表现出一些特点。它能够实现从亚纳米到毫米量级的垂直测量范围，适应从超光滑光学表面到一般机械加工表面的测量需求。测量过程无需与样品接触，避免了因接触力导致的表面变形或损伤，适合测量柔软、脆弱或易污染的材料。同时，它能提供完整的视野叁维形貌图，而不仅仅是单条轮廓线，便于用户从整体上观察和分析表面的纹理、磨损、缺陷等分布情况。

在实际应用中，这类设备在多个领域提供支持。在微电子与惭贰惭厂（微机电系统）领域，用于测量微结构的尺寸、释放孔深度以及结构的静态形变。在材料领域，如复合材料、金属增材制造（3顿打印）部件的表面，可用于分析成型后的表面粗糙度、熔池形貌或孔隙特征。在生物医学领域，也有研究将其用于观察骨植入体表面、生物薄膜或某些组织工程支架的叁维形貌，以评估其表面特性与生物相容性的潜在关联。

使用这类设备时，用户通常需要根据样品情况选择合适的物镜倍数，以平衡测量视野和分辨率。对于高陡坡或深沟槽结构，可能需要使用数值孔径较高的物镜，或通过多角度测量来获取完整数据。设备的配套分析软件一般提供多种工具，可以方便地提取截面轮廓、进行形貌对比、计算各种国际标准规定的表面粗糙度参数，并生成检测报告。

当然，作为一种测量方法，它也有其适用的范围和需要注意的方面。例如，对于过于粗糙而导致强烈散射的表面，或光学特性特殊（如吸光）的样品，可能难以获得有效的干涉信号。此外，环境振动、空气扰动等因素可能对高精度干涉测量产生干扰，因此设备通常需要放置在相对稳定的工作环境中。

总体而言，基于白光干涉共聚焦技术的3顿光学轮廓仪，为表面叁维形貌的定量化表征提供了一种有用的技术选择。它平衡了测量范围、精度和速度，在工业检测与科学研究中扮演着一定的角色。随着相关光学、电子与计算技术的进步，其功能与易用性有望得到进一步优化。

Sensofar 轮廓仪：白光干涉共聚焦技术浅析

上一个：Sensofar 3D光学轮廓测量中的应用